サーフコム CREST （SURFCOM CREST)

世界最高水準の東京精密のサーフコムのフラッグシップモデル。 新型リニアモーター駆動部を搭載し、マザーマシンとしての完成度を極めました。

【サーフコム CRESTの特長】

■新開発の高安定倍光路型レーザ干渉センサを搭載
東京精密の光ファイバによるレーザ干渉測定システムを応用した高安定倍光路型レーザ干渉センサを搭載。分解能0.31nm。
ダイナミックレンジと分解能比は42,000,000：1 。
広範囲の輪郭形状とその形状に隠れている微細な表面形状をワントレースで評価可能な画期的なセンサです。

■駆動部に特許取得のリニアモータを搭載
リニアモータ駆動を採用し駆動部の振動を低減。高精度、高速移動を実現しました。

■1回の測定で粗さと輪郭を同時に解析
高い精度を保ちながら測定の効率化を図ることが可能です。

■測定部を高速化（200mm/s）
横方向200 mm、縦方向13 mm の広い測定範囲。
駆動部傾斜装置により、± 45°の自動制御が可能（SURFCOM CREST-Tタイプ）