非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope（オプト スコープ／白色干渉顕微鏡）

ベアリング等の摺動面（高研磨面）の三次元粗さ。傷・磨耗の解析や、 砥石や超硬チップの刃先の形状評価の他、半導体ウェーハの表面欠損検出など、様々なアプリケーションに対応します。高研磨面やMEMS 微細形状の測定、自動車部品などの機械加工部品の測定など幅広く対応します。

【Opt-scope（オプト スコープ）の特長】

■非接触・広範囲・高分解能
0.1 nm の高分解能で、狭範囲の微細粗さ解析から広範囲のうねり形状解析まで、幅広く応用が可能です。

■機械加工面の表面性状を非接触で3D測定・評価（ISO25178-2に準拠）
当社独自の手法で、既存の白色干渉顕微鏡が苦手とする 機械加工面の形状データをより鮮明に取得することが可能に。測定対象の幅が大きく広がりました。

■最大で5つのレンズを搭載できるレボルバ機構
様々なレンズをレボルバーで簡単に切り替え可能。ワークや目的に合った最適な測定が可能です。（Rモデル）

■電動XYステージとスティッチング機能で、より大きな範囲での測定が可能
電動ステージを使用し、任意の順番で、任意の場所 を、複数面の測定を自動的に実行。さらにスティッチング機能で面の結合を行うことで、干渉レンズの視野に収まらない広範囲の測定・解析が可能です。