


バッチ式(浸漬式)は、洗浄物に合わせて振動子を自由に設置できます。
そのため、必要な部分だけの洗浄ができるほか、複数の振動子を取付けることで多方向からの洗浄も可能。
W357BMは、安定した発振を可能にするデジタル制御を搭載しています。多彩なインターフェイスで、洗浄装置に合わせた制御を実現します。
主な特長
・デジタル制御により、安定した発振が可能
・多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能
・1W単位での超音波出力調整が可能
主な用途
・磁気ヘッド洗浄
・シリコンウェーハ洗浄
・サファイアウェーハ洗浄
・半導体デバイス加工後の洗浄
・ハードディスク洗浄
主な仕様
<発振器>
発振方式 | |
定格出力 | 600W | 1200W | 出力可変範囲 | 100W~600W | 200W~1200W | 公称発振周波数 | |
電源入力 | AC200V〜240V 単相 50/60Hz 1200VA |
AC200V〜240V 単相 50/60Hz 2400VA |
表示 | |
インターフェース アナログ出力 | |
インターフェース 接点出力 | |
インターフェース 外部駆動入力 | |
インターフェース RS485通信 | |
外形寸法 (突起部は除くゴム足を含む) WxDxHmm |
220×360×143 | 360×360×143 | 質量 | 5kg | 7kg |
●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:5~80%(ただし結露無きこと)
●電源コード長:3m
<振動子ユニット>
■F Type:振動板タイプ
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発振器 型式 | W-357BM-600 | W-357BM-1200 | 最大許容入力 | 600W | 1200W | 公称駆動周波数 | |
有効輻射面 W×Dmm |
135×160 | 272×154 | 外形寸法 W×D×Hmm(配線、配管を含まず) |
250×220×68 | 355×245×68 | 材質 | |
質量 | 3.3kg | 7kg | 対応ウェーハサイズ | 6 inch | 8 inch | 振動子コード長 | 5m | 5m×2 |
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●接液部材質:振動板:SUS316L
●使用液温度範囲:5~80℃
●振動子:PZT
■S Type:槽タイプ
発振器 型式 | W-357BM-600 | W-357BM-1200 | 最大許容入力 | 600W | 1200W | 公称駆動周波数 | |
有効輻射面 W×Dmm |
135×160 | 135×160 2ヶ所 | 外形寸法 W×D×Hmm(配線、配管を含まず) 外形 |
302×296×372(ゴム足含む) | 496×336×372(ゴム足含む) | 外形寸法 W×D×Hmm(配線、配管を含まず) 槽内 |
248×236×252 | 442×276×252 | 材質 | |
ドレインバルブ | |
質量 | 11.6kg | 18kg | 対応ウェーハサイズ | 6 inch | 6 inch ×2 | 振動子コード長 | 5m | 5m×2 |
●接液部材質:振動板、槽:SUS316L パッキン:PTFE 給水/排水用ニップル:SUS304
●使用液温度範囲:5~80℃
●振動子:PZT
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