


パイプ内を流れる液体の流速を低流量から高流量まで計測できます。
半導体製造などで使用される薬液にも対応。
検出器は200度までの流体温度の測定が可能です。
接液部には耐薬性に優れたNEW PFA(高純度ふっ素樹脂)を使用しています。
日本では大手半導体装置メーカーでの使用実績もある「HLF800」の導入をタイ、東南アジアでお考えなら、本多電子株式会社(バンコク駐在員事務所)または「お問い合わせ」フォームからご連絡ください。
主な特長
・DSP(デジタル信号処理)による安定した計測を実現
・2チャンネルの採用により、省スペース・低価格を実現
・検出器とケーブルが着脱可能。配線作業が容易
・配管内からの構造物を排除することで、圧力損失を最小化
・接液部分には、高耐腐食性を持つNEW PFA(高純度ふっ素樹脂)を採用
主な用途および使用例
・半導体プロセスの純水・超純水の流量測定
・腐蝕性の高い薬液塗布などの各種薬液処理プロセスの流量管理
・CMP(Chemical Mechanical Polishing)スラリー液の流量測定
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