表面形状測定装置︱精密加工の技とリニア駆動で広範囲でも安定した平面度測定を実現

クロダの精密加工技術とリニアサーボモーターにより世界最高水準の平面度測定を実現。多様なワークに対応し、評価項目に応じて測定ヘッド交換が可能。自社開発ソフトにより多彩な解析・表示に対応し、安全性・作業性を両立した設計で安定した測定環境を提供します。

【主な製品ラインアップと特長】
精密平面度測定装置「SF-640M」

・XY軸にクロダ製エアスライダを採用したリニアサーボ駆動により、広範囲を高精度かつ高速に測定可能
・評価項目、対象物に応じて最適な測定ヘッドを選択可能
・測定ピッチや速度などを柔軟に設定でき、ニーズに応じた結果表示・解析が可能
・ハード・ソフトともに自社開発のため、仕様や機能のカスタマイズに柔軟に対応

円盤用表面形状測定装置「ナノメトロ® FRシリーズ」

・回転エアテーブルを搭載。X軸にクロダの精密加工技術によるエアスライダを採用したリニアサーボ駆動により、φ1000までの円盤の表面形状を高速、高精度に測定可能
・同心円測定、放射状測定に対応
・自社開発のソフトウェアにより、任意の測定ピッチ設定が可能。対象ワークサイズに応じて自由度の高い測定を実現

【主な仕様】

	SF-640M	ナノメトロ700FR	ナノメトロ1000FR
測定範囲 (X × Y）	650mm × 450mm	φ700mm(max.)	φ1000mm(max.)
総合測定精度	0.6μm (※1)	0.4μm	0.6μm
繰り返し精度	0.1μm (※2)	0.05μm(σ)
表示分解能	0.01μm	0.01μm
測定ヘッド	非接触レーザ変位計、電気マイクロメータ	電気マイクロメータ
最小データ間隔	1μm	―
測定速度	0.5 ～ 50mm/sec	35mm/s　※最大測定速度（X軸）
軸・ガイド	セラミックス製エアガイド	x軸：セラミックス製エアガイド θ軸：エアベアリング
駆動方式	X軸：リニアモーター Y軸：サーボモーター	X軸：リニアモーター θ軸：サーボモーター
最大ワーク質量	40kg	60kg	80kg
外観寸法	W1820mm × D1200mm × H1550mm	―
本体質量	1000kg	―
必要電源	AC200V (50/60Hz)　15A	―
必要圧縮空気	クリーンドライエア　0.5MPa	―
空気流量	100L/min (ANR)	―
最大ワーク高さ	50mm	―
設置環境	室温：20℃ ～ 25℃（変動は1℃以下の事）床強度：耐荷重9,800N/m２以上	―

※1 オプチカルフラット測定時の全面PV値
※2 オプチカルフラット10回繰り返し測定時の全面PV値の標準偏差σ

お問い合わせ

表面形状測定装置