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【丸1日かかっていた検査が10分に短縮】 高速・高精度のウェハ外観検査システム!【タイ】

15/08/2019
サムライアジア編集部

PC、スマートフォン、自動車などあらゆる電子製品・電子機器の性能を左右する半導体製造の材料、「ウェハ」。
今回の記事では、ウェハを高速検査し、画像処理・解析を行うことができる三谷商事のスクリーニングシステム「Cosmo Finder」を紹介したい。


ウェハを高速で外観検査・画像処理することができるCosmo Finderの4つの特長

金属顕微鏡を利用した高速ウェハ検査システム「Cosmo Finder」には以下のような特長がある。

① 高速検査・高分解能:
10分で6インチウェハ全面検査を完了、最小分解能0.69μm。高速で数μmの小さな異物や傷も検出。

② 省スペース設計:
フットプリント1m×1m以下を実現、製造工程からR&D(研究開発)部門まで広く利用可能。

③ 画像解析技術による高精度検査:
三谷商事30年以上の画像解析経験により改良が重ねられ、様々な欠陥の認識に対応可能。

④ AI機能による分類技術:
AI機能で人の目による分類を学習させて、あたかも人が分類したかのような分類が可能。


半導体ICチップの製造メーカーなどを中心に、ウェハの高速検査実現で高評価されるCosmo Finder

三谷商事は2017年のCosmo Finder発売開始から、ウェハベースでチップ製造をするメーカー企業を中心に、2年で10台以上導入と実績をあげている。

例えば半導体ICチップ製造メーカーのA社では、導入前までウェハの検査を目視で行っており、1枚のウェハを検査するのに丸1日かかっていた。検査の手間とスピードの点で課題を抱えていた同社。高速検査を最大の特長とするCosmo Finderを導入し、ウェハ1枚の検査時間を丸1日から10分に大幅短縮した。さらに、三谷商事の得意とする画像解析技術により、人の目による分類に近い検査が自動でできるようになった。
検査の高速化・自動化が実現した同社からは、三谷商事へ喜びの声が届いている。

三谷商事 ビジュアルシステム部 海外戦略担当の道津昌也氏は、「販売代理店からの問い合わせや、お客様ご自身で直接弊社へお問い合わせ頂くこともあります。その後お客様と打ち合わせをし、平均3~4ヶ月かけて様々なテストや評価を行って、しっかりと性能をみて頂いた上で購入いただきます」と話す。

[システム構成]


ローコストかつ要望に沿ったカスタマイズにも対応。高精度な検査をサポート

さらに道津氏は、これまでの販売経験から他社製品と比較したうえで、「三谷商事のCosmo Finder」ならではの強みを話してくれた。

●価格面のメリット
Cosmo Finderと同等機能を持つウェハ検査装置を提供する他メーカー(日本企業)に比べて2分の1以下の低価格を実現。
●画像処理
AIなど最先端技術を使った検査処理を組み合わせることで検査精度をさらに向上させることが可能。
●カスタマイズ
要望に沿ったシステム開発が可能。
●高い汎用性
ウェハの欠陥検査がメインだが、それ以外に基板やフィルムの検査等にも応用が可能。

ウェハ検査の効率化、自動化をリーズナブルに実現するCosmo Finder。タイやASEANの半導体分野で今後の活躍が大いに期待される。


タイで、ウェハの外観検査に課題をお持ちの方は、下記お問合せフォームまたは「Contact Us」の連絡先へご相談ください。



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道津 昌也 MASAYA DOTSU
Mobile : +81(0)90-9059-8333
Email : mdotsu@mitani-corp.co.jp