非接触三次元形状測定装置（三鷹光器）

本装置は光学顕微鏡ベースで独自のAFセンサにて追従型のオートフォーカスを使用。ステージ移動分の微小領域～広範囲までを高精度に測定。完全非接触タイプになり非接触での粗さ測定（線粗さ・面粗さ）、段差測定に最適。

主な特長
・完全非接触のポイント追従オートフォーカス
・ステージ操作型の広範囲の測定が可能
・測定ワークは表面の色、反射率に左右されない
・レーザースポットは最小0.8μm
・急峻な確度のワークでも測定可能
・国際的粗さ標準片データとの高い相関性
・光学顕微鏡ベースの為測定部分の観察が可能

主な適用
・広範囲での平面度測定
・樹脂製品などの表面
・非球面レンズを含めレンズ全般の形状測定
・高精度、高分解能のZ測定
・コーティングなどの段差非接触測定

主な仕様
・Z分解能：PF-60（10nm）、NH-3SPs（1nm）
・測定範囲：PF-60（60×60mm）、NH-3SPs（150×150mm）
・レンズに特価した評価ソフト（オプション）
・エレベーションステージ（オプション）
・高精度温度制御恒温槽内で温度変化による変形を高精度測定（オプション）