表面清浄度パーティクルモニタ PartSens／パーツセンス（インテクノス）

クリーンルームには、測定や除去が困難である「粗大粒子 (≧5 µm)」が存在します。その落下、堆積する性質により、全ての表面に付着し汚染します。残留した粒子は、ヒトやシステムが接触することで再分散し、汚染が進行します。そのため、適切な清掃による除去が必要です。

主な仕様

＜本体＞
測定原理：グランシングライト照射式（ISO14644-9準拠）
測定項目：粒子径、粒子数、種別分類（反射性粒子、非反射性粒子、繊維）
検出サイズ(最長径で検出）：
非反射性粒子 2 µm ~ > 3000 µm
反射性粒子 25 µm ~ > 3000 µm
繊維 50 µm ~ > 3000 µm
粒子径分布の表示：VDA19及びISO16232参照
測定様式：Distributive、Distributive/1000 cm²、Cumulative、Cumulative/1000 cm²
測定時間：10秒以下
1画像あたりの画素数：3872 × 2764 ピクセル
データ保存数：300 データ
スクリーン：タッチスクリーン、12.1” TFT（クリーンルーム用グローブ対応）
データ出力：TCP/IP、USB Type A（CSVデータ）、HDMI
電源：
アダプタ／AC入力 100-240 V AC-1, 4 A 50/60 Hz | DC出力 24 VDC @ 5A
LIB／定格電圧 11.1V, 7800mAh × 2個
重量：7.7 kg (バッテリー有)、6.7 kg（ バッテリーなし）
推奨使用環境：温度5 ~ 30 ℃／湿度20 ~ 95 % RH（結露なきこと）
推奨保管環境：温度0 ~ 50 ℃／湿度98 % RH 以下（ 結露なきこと）

＜測定プローブ＞
検出エリア：2.68cm（2 19.36 × 13.82 ｍｍ）
測定データ転送方法：無線LAN 2.4GHｚ
使用範囲：本体から10ｍ以内
電源：ニッケル水素電池
校正：年1回 推奨
スクリーン：タッチスクリーン、LCD