表面清浄度パーティクルモニタ PartSens／パーツセンス（インテクノス）
表面清浄度・清掃効果を数値化し、異物付着リスクを回避。ISO14644-9／ISO14644-13／VDA19.2の規格に準拠。
クリーンルームには、測定や除去が困難である「粗大粒子 (≧5 µm)」が存在します。その落下、堆積する性質により、全ての表面に付着し汚染します。残留した粒子は、ヒトやシステムが接触することで再分散し、汚染が進行します。そのため、適切な清掃による除去が必要です。
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主な仕様
＜本体＞
測定原理：グランシングライト照射式（ISO14644-9準拠）
測定項目：粒子径、粒子数、種別分類（反射性粒子、非反射性粒子、繊維）
検出サイズ(最長径で検出）：
非反射性粒子 2 µm ~ > 3000 µm
反射性粒子 25 µm ~ > 3000 µm
繊維 50 µm ~ > 3000 µm ：VDA19及びISO16232参照 ：Distributive、Distributive/1000 cm²、Cumulative、Cumulative/1000 cm² ：10秒以下 ：3872 × 2764 ピクセル ：300 データ ：タッチスクリーン、12.1” TFT（クリーンルーム用グローブ対応） ：TCP/IP、USB Type A（CSVデータ）、HDMI ： アダプタ／AC入力 100-240 V AC-1, 4 A 50/60 Hz | DC出力 24 VDC @ 5A LIB／定格電圧 11.1V, 7800mAh × 2個 ：7.7 kg (バッテリー有)、6.7 kg（ バッテリーなし） ：温度5 ~ 30 ℃／湿度20 ~ 95 % RH（結露なきこと） ：温度0 ~ 50 ℃／湿度98 % RH 以下（ 結露なきこと） ：2.68cm（2 19.36 × 13.82 ｍｍ） ：無線LAN 2.4GHｚ ：本体から10ｍ以内 ：ニッケル水素電池 ：年1回 推奨 ：タッチスクリーン、LCD
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