リアルタイム粒子堆積モニタAPMON／アップモン（インテクノス）

粗大粒子（≧5 µm）が品質リスクを生じさせるなか、空間制御技術に傾倒し、異物を残留し続けているクリーンルームが多数存在します。粗大粒子は、吸引式のパーティクルカウンタによる定量化が難しく、粒子堆積の制御は、適切な監視から堆積時期の特定と堆積数の取得が必要です。　

主な仕様

＜センサ＞
測定原理：レーザーホログラフィック方式
光源：20ｍAレーザーダイオード 406ｎM
レーザー安全基準：クラス2 M（IEC60825-1準拠）
計測粒径範囲：15 ～ 1000 µｍ
測定部表面積：25cm2（4.2cm2×6枚）
PDR：99％信頼区間±6％（長期）
測定間隔：最短5分（有線の場合）
寸法：W 390 × D 80 × H 150ｍｍ
重量：約5kg（電池を含む）
電源：ACアダプタ100 ～ 240V / 9V　DC 550ｍA、または電池7.2V / 7.8Ah
バッテリ種類：リチウムイオン電池・充填可能

＜検出カートリッジ＞
材質：樹脂、ガラス
交換頻度（目安）：3ヵ月程度（測定環境の清浄度に依存）
包装：管理された環境にて二重包装
交換時期：ソフトウェアで警告

＜本体＞
センサ接続数：最大2台可能
ワイヤレス接続（本体↔センサ）：最大2台可能
データ出力：USB（CSVデータ）