超微小押し込み硬さ試験機　NANO INDENTATION TESTER ENT-5

１．ナノインデンテーションテスタでは唯一温調管理機構を搭載
※サンプルや試験機の熱膨張を抑制してデーター再現性を高めます。

２．自社開発の電子線描画装置用高精度ステージ技術を採用した高精度位置決めステージを搭載
※0.1µmステップで狙い撃ちで試験したい位置決め硬度試験が可能です。

３．除震機構
※くさび型仕様ステージとアクティブ除震台を搭載することで振動に強く、データー再現性を高めます。

■製品特長
・荷重系
【高荷重ユニット】
荷重範囲 ：0.005mN(5μN)～2,000mN（2N）
分解能：5nN

【低荷重ユニット】
荷重範囲 ：0.005mN(0.5μN) ～10mN
分解能：0.03nN

・圧子変位測定系
計測範囲 ：±50μm
分解能：0.3pm
計測方式 ：光変位計

・圧子
バーコビッチ圧子 ：α＝65.03°（対稜角115°）

・外観寸法／設置条件
試験機本体：650㎜(W)×650㎜(D)×1200㎜(H)
電源：単相100V/10A
床振動：0.5gal p-p以下（低周波振動が少ないこと）

・オプション（ホルダー）
加熱ホルダー：高荷重ユニット（最大加熱温度250℃）　
　　　　　　　低荷重ユニット（最大加熱温度180℃）
冷却ホルダー：温度制御範囲（-30℃～100℃）
樹脂包埋ホルダー：断面観察向けに樹脂包埋したサンプルのホルダー
特注ホルダー：サンプルに合わせ設計・製作致します

・オプション（測定）
表面プロファイル試験：圧子でサンプルの形状を取得し、狙い撃ちできる機能です。
凹凸の大きなサンプルに対し有効です。

粘弾性試験：一定の荷重で圧子をサンプルに押し込んだ状態で、任意の周波数で荷重を発生させ、貯蔵弾性率(E)’、損失弾性率(E'')、損失係数(tanσ)の測定が可能です。また、加熱ステージを併用することで、ガラス転移点(Tg)の評価も可能です。

軟化温度測定：一定荷重で圧子をサンプルに接触させながら、加熱ホルダーで温度を上昇させ、軟化温度を測定することが可能です。

水中試験：水中に浸漬したサンプルの硬さ試験が可能です。

粒子強度試験：フラット圧子を用い、微小粒子を圧縮または圧壊させ強度を測定する手法です。

抵抗値試験：粒子強度試験の追加機能で、導電性粒子を圧縮しながら粒子の電気抵抗を測定することが可能です。