PMS（フォトメトリックステレオ）の手法を用いて、ICパッケージの表面の3Ｄ形状を推定し、へこみを検出する画像検査デモをご紹介します。

▲システム構成

PMSは、固定されたカメラ位置から異なる照明方向で撮影された複数の画像を用いて表面の形状を推定します。異なる照明角度による輝度の変化を利用し、へこみや傷などの表面の微細な異変を捉えるのに有効です。

PMS検査では、一般的な光学系では検出が難しい微細な凹凸を可視化できます。

▲左が通常の光　右がPMSでの照明によるへこみ検出

▲赤の照明、緑の照明、青による照明を合成したものがImage1

3センサーカメラは1台のカメラ内部に3つのセンサーが搭載されており、1回の撮像で同時に3色の画像（赤、緑、青）を得ることができます。 通常はカラー画像に使われますが、今回のデモでは位相差のある3枚の画像を同時に撮像するために利用されています。

通常PMS検査では複数回（今回は3回）の違う角度からの照明を利用した撮像が必要なため、撮像時には停止している必要がありました。 3センサーカメラとPMS技術との組み合わせでは、それぞれ物理的に位置の違う赤、青、緑照明を同時に発光して、位相差のある3枚の画像を同時に撮像することで、移動物体のPMS検査が可能になりました。

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