PMS（フォトメトリックステレオ）の手法を用いて、ICパッケージの表面の3Ｄ形状を推定し、へこみを検出する画像検査デモをご紹介します。

▲システム構成

PMSは、固定されたカメラ位置から異なる照明方向で撮影された複数の画像を用いて表面の形状を推定します。異なる照明角度による輝度の変化を利用し、へこみや傷などの表面の微細な異変を捉えるのに有効です。

PMS検査では、一般的な光学系では検出が難しい微細な凹凸を可視化できます。

▲左が通常の光　右がPMSでの照明によるへこみ検出