เครื่องตรวจวัดสามมิติและรูปร่างของชิ้นงานแบบไร้สัมผัส (Opt-scope/Micro-scope สีขาว)

สามารถตรวจวัดความหยาบของผิวสไลด์ (พื้นผิวขัดมัน) ในแบบสามมิติ อาทิเช่น Bearing ฯลฯ ได้ อีกทั้งสามารถนำไปใช้งานได้หลากหลายรูปแบบ อาทิเช่น การวิเคราะห์รอยขีดข่วนหรือรอยสึกหรอ, การประเมินรูปร่างของหินขัดหรือปลาย Chip, การตรวจจับความเสียหายที่เกิดขึ้นบนผิว Semi-conductor Wafer ฯลฯ ได้ นอกจากนี้ยังมีขอบเขตการใช้งานที่กว้างขวางโดยสามารถนำไปใช้ตรวจวัดผิวเจียร, รูปร่างของ MEMS, ชิ้นส่วนยานยนต์ ฯลฯ ได้

(คุณลักษณะพิเศษของ Opt-scope)
■ไร้สัมผัส, ขอบเขตการตรวจวัดกว้างและมีความละเอียดสูง
ด้วยความละเอียดสูงถึง 0.1nm จึงสามารถนำไปใช้งานได้หลกาหลายต้ังแต่การวิเคราะห์ความหยาบของผิวในพื้นที่แคบจนถึงการวิเคราะห์รูปร่างแบบลูกคลื่นที่กว้างมาก

■สามารถตรวจวัดและประเมินคุณภาพของผิวแปรรูปในแบบ 3D และไร้สัมผัสได้ (ตามมาตรฐาน ISO25178-2)
ด้วยวิธีการแบบพิเศษของบริษัททำให้สามารถตรวจวัดรูปร่างของผิวแปรรูปได้ละเอียดมากขึ้นกว่าเดิมซึ่งกล้อง Micro-scope ไม่สามารถทำได้ทำให้ขอบเขตในการตรวจวัดกว้างมากขึ้น

■กลไกแบบ Revolver ที่สามารถติดตั้งเลนส์ได้สูงสุดถึง 5 เลนส์
ด้วยกลไกแบบ Revolver ทำให้สามารถเปลี่ยนเลนส์ต่างๆได้โดยง่ายทำให้สามารถตรวจวัดด้วยรูปแบบที่เหมาะกับชิ้นงานและวัตถุประสงค์ได้ (รุ่น R)

■ด้วย Electric XY stage และ Stitching ทำให้สามารถตรวจวัดได้กว้างมากกว่าเดิม
มีการใช้ Electric stage ทำให้สามารถตรวจวัดหลายพื้นผิวตามลำดับที่ต้องการได้ นอกจากนี้เมื่อรวมกับฟังก์ชั่น Stitching แล้วจะสามารถตรวจวัดและวิเคราะห์ได้กว้างมากขึ้นในมุมมองที่อยู่นอกขอบเขตของเลนส์ได้