การควบคุมคุณภาพแต่ละประเภท

ด้วยการตรวจวัดแบบไร้สัมผัสจึงช่วยป้องกันความเสียหายของชิ้นงาน
เครื่องตรวจวัดโดยอาศัยภาพถ่ายรุ่นล่าสุดนี้ไม่เพียงแค่การประเมินว่า OK/NG เท่านั้น ยังสามารถตรวจวัดมุม, รัศมี, เส้นผ่าศูนย์กลางด้านใน, ระยะ Pitch ฯลฯ ได้อีกด้วย
(ความแม่นยำในการตรวจวัด) โหมดตรวจวัดแบบกว้าง ±5μm, โหมดตรวจวัดแบบละเอียด ±2μm

เหมาะกับชิ้นงานที่มีขนาดเล็กและบาง
(ขอบเขตของการตรวจวัด (X,Y,Z)) 150mm x 100mm x 150mm (ความละเอียดขั้นต่ำ) 0.1μm

ใช้ตรวจวัดขนาด, รูปร่างในเชิงเรขาคณิต, รูปทรง ฯลฯ ของชิ้นงานได้
(ขอบเขตของการตรวจวัด (X,Y,Z)) 1000mm × 2100mm × 600mm (ความแม่นยำ) MPEE＝1.8＋L/300μm

มาตรฐานในการตรวจสอบรูปร่างของชิ้นงาน
(ขอบเขตของการตรวจวัด) 100mm × 50mm (ความแม่นยำ) แกน X±(1.0+L/100)μm, แกน Z±(1.8+|2H|/100)μm