SEM (Scanning Electron Microscope) Model: JSM-IT210

Zeromag สามารถกำหนดจุดที่อยากสังเกต และวิเคราะห์ได้ และ Lie Analysis สามารถทำการวิเคราะห์ได้อย่างเรียลไทม์ ครอบคลุมถึงชิ้นงานที่อยู่ด้านบน การจัดการข้อมูลและการควบคุม cost performance ที่ยอดเยี่ยม และสามารถทำรายงานได้ทันที

■ JSM-IT210 Series
ความละเอียด: (High vacuum mode) 3.0nm (30kV), 15.0nm (1.0kV) & (Low vacuum mode) 4.0nm (30kV BED)
กำลังขยายภาพ: ×5 - ×300,000 (กำหนดขนาดภาพที่ 128mm x 96mm)
กำลังที่แสดง: ×15 - ×883,652 อัตราภาพที่ฉายบนมอนิเตอร์ (การแสดงผลเต็มจอบนมอนิเตอร์มาตรฐาน)
ฟังก์ชันอัตโนมัติ: การปรับ filament, การปรับ gun alignment, การจัดตำแหน่งลำแสง, การปรับโฟกัส/เอียง (Astigmatism)/ความสว่าง/คอนทราสต์
ขนาดตัวอย่างสูงสุด: เส้นผ่าศูนย์กลาง 150mm, ความสูง 53 mm / 43 mm
โหมดภาพ: Secondary electron image, REF image, Compositional image, Topographic image, Shadow image, PD image
จอสังเกตการณ์: แผงสัมผัสขนาด 23.8 นิ้ว
Recipe (มาตรฐาน / กำหนดเอง), Measurement (ระยะห่างระหว่างจุด 2 จุด ระยะห่างระหว่างเส้นขนาน มุม เส้นผ่านศูนย์กลาง ฯลฯ), Specimen exchange navi, Signal depth function, 3D measurement ㆍBackscattered Electron Detector (BED) ㆍLow Vacuum Secondary Electron Detector (LVSED) ㆍLow Vacuum Hybrid Secondary Electron Detector (LHSED) ㆍEnergy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS) ㆍ Stage Navigation System (SNS) ㆍStage Navigation System (SNSLS) ㆍChamber Scope (CS) ㆍOperation Panel (OP2) ㆍ3D Analysis Software (SVM) ㆍOperation Table (TBL)