SEM (Scanning Electron Microscope) Model: JSM-IT210

Zeromag สามารถกำหนดจุดที่อยากสังเกต และวิเคราะห์ได้ และ Lie Analysis สามารถทำการวิเคราะห์ได้อย่างเรียลไทม์ ครอบคลุมถึงชิ้นงานที่อยู่ด้านบน การจัดการข้อมูลและการควบคุม cost performance ที่ยอดเยี่ยม และสามารถทำรายงานได้ทันที

■ JSM-IT210 Series
ความละเอียด: (High vacuum mode) 3.0nm (30kV), 15.0nm (1.0kV) & (Low vacuum mode) 4.0nm (30kV BED)
กำลังขยายภาพ: ×5 - ×300,000 (กำหนดขนาดภาพที่ 128mm x 96mm)
กำลังที่แสดง: ×15 - ×883,652 อัตราภาพที่ฉายบนมอนิเตอร์ (การแสดงผลเต็มจอบนมอนิเตอร์มาตรฐาน)
ฟังก์ชันอัตโนมัติ: การปรับ filament, การปรับ gun alignment, การจัดตำแหน่งลำแสง, การปรับโฟกัส/เอียง (Astigmatism)/ความสว่าง/คอนทราสต์
ขนาดตัวอย่างสูงสุด: เส้นผ่าศูนย์กลาง 150mm, ความสูง 53 mm / 43 mm
โหมดภาพ: Secondary electron image, REF image, Compositional image, Topographic image, Shadow image, PD image
จอสังเกตการณ์: แผงสัมผัสขนาด 23.8 นิ้ว
ฟังก์ชันสนับสนุนการทำงาน: Recipe (มาตรฐาน / กำหนดเอง), Measurement (ระยะห่างระหว่างจุด 2 จุด ระยะห่างระหว่างเส้นขนาน มุม เส้นผ่านศูนย์กลาง ฯลฯ), Specimen exchange navi, Signal depth function, 3D measurement

ตัวเลือกหลัก:
ㆍBackscattered Electron Detector (BED)
ㆍLow Vacuum Secondary Electron Detector (LVSED)
ㆍLow Vacuum Hybrid Secondary Electron Detector (LHSED)
ㆍEnergy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS)
ㆍ Stage Navigation System (SNS)
ㆍStage Navigation System (SNSLS)
ㆍChamber Scope (CS)
ㆍOperation Panel (OP2)
ㆍ3D Analysis Software (SVM)
ㆍOperation Table (TBL)