กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดแบบตั้งโต๊ะ (JEOL)
คุณสมบัติหลัก
- การเปลี่ยนจากภาพออปติคัลเป็นภาพ SEM “Zeromag” ได้อย่างราบเรียบ
- “Live Analysis” สามารถวิเคราะห์ธาตุในมุมมองระหว่างการสังเกต แม้ไม่ต้องวางตำแหน่งการวิเคราะห์
- “Live 3D” สามารถดูภาพสามมิติในระหว่างการสังเกต SEM ได้
- สามารถดูภาพใน 3 นาทีหลังการฉีดตัวอย่าง
- ภาพคมชัด ตั้งแต่กำลังขยายต่ำไปจนถึงกำลังขยายสูงด้วยฟังก์ชั่นอัตโนมัติ
- ถ้าเป็นโหมด Low vacuum(LV) ชิ้นงานทดสอบที่ไม่มีการนำไฟฟ้าไม่จำเป็นต้องทำการ coating
- โหมด High vacuum(HV) สามารถสังเกตรูปร่างที่ละเอียดได้
- ผลลัพธ์ในการ output โดยการจัดวางอัตโนมัติที่ไม่ต้อง copy & paste
- การออกแบบกะทัดรัดที่ทำได้บนโต๊ะทำงาน ตั้งแต่การสังเกตไปจนถึงการวิเคราะห์ EDS
การนำไปใช้
- การควบคุมคุณภาพสินค้า
- การวิเคราะห์สิ่งแปลกปลอม
- การวิเคราะห์ธาตุ
Spec
ขนาดรูปภาพ : ×10 ~ 100,000 (กำหนดขนาดรูปที่แสดง 128 mm×96 mm)
โหมดภาพ:
(High vacuum) ภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิ, ภาพอิเล็กตรอนสะท้อน (ส่วนประกอบ, ความขรุขระ ภาพของเหลว), ภาพ 3D
(Low vacuum) ภาพอิเล็กตรอนสะท้อน (ส่วนประกอบ, ความขรุขระ ภาพของเหลว), ภาพ 3D
ค่าแรงดันเร่ง (Accelerating voltage) : 5 KV, 10kV, 15kV (3 ระดับ)
Electron gun: Tungsten filament และ Wehnelt grid
Motor drive stage: X-Y 2 แกน (มาตรฐาน)
ขนาดตัวอย่างใหญ่สุด : Φ80 ㎜×50 ㎜(H)
Body : 324㎜(W)×586㎜(D)×566㎜(H)