สามารถวัดรูปร่างพื้นผิวตั้งแต่พื้นที่ขนาดเล็กไปจนถึงบริเวณรอบ ๆ โดยไม่ต้องเปลี่ยนชิ้นงาน ตลอดจนวัดชิ้นงานที่มีรูปร่างเป็นมุมสูงชัน และการสะท้อนแสงที่มีความละเอียดสูงถึง 1nm