เครื่องวิเคราะห์อนุภาคพื้นผิว PartSens 4.0 (Intechnos)

ในห้องคลีนรูม มี "อนุภาคหยาบ (≧ 5 µm)" ที่วัดและทำการตรวจสอบได้ยาก เนื่องจากการตกหล่นของอนุภาคขนาดใหญ่และการสะสมทับซ้อนกันเกาะติดอยู่ทั่วทั้งพื้นผิวส่งผลเกิดการปนเปื้อน อีกทั้งอนุภาคที่ตกค้างอยู่จะกระจายตัวอีกครั้งเมื่อมีการสัมผัสหรือเคลื่อนไหวจากมนุษย์และระบบการผลิต ทำให้เกิดการปนเปื้อนต่อไปอย่างไม่มีที่สิ้นสุด ดังนั้นจำเป็นต้องกำจัดอนุภาคด้วยเครื่องทำความสะอาดที่เหมาะสม

：Glansing light irradiation type การฉายรังสี (อ้างอิง ISO14644-9) ：ขนาด ปริมาณ และการจำแนกประเภทของอนุภาค (อนุภาคสะท้อนแสง อนุภาคไม่สะท้อนแสง เส้นใย) ： อนุภาคไม่สะท้อนแสง 2 µm ~ > 3000 µm　 อนุภาคสะท้อนแสง 25 µm ~ > 3000 µm เส้นใย 50 µm ~ > 3000 µm ：อ้างอิง VDA19 และ ISO16232 ：Distributive, Distributive/1000 cm², Cumulative, Cumulative/1000 cm² ：น้อยกว่า 10 วินาที ：3872 × 2764 pixel ：300 ไฟล์ ：หน้าจอสัมผัส 12.1" TFT (รองรับการแตะด้วยถุงมือคลีนรูม) ：TCP/IP, USB Type A（Data CSV）, HDMI ： Adapter　AC Input 100-240 V AC-1, 4 A 50/60 Hz | DC Output 24 DC @ 5A LIB　Rated voltage 11.1V, 7800mAh × 2 ก้อน ：มีแบตเตอรี่ 7.7 kg, ไม่มีแบตเตอรี่ 6.7 kg ：อุณหภูมิ　5 ~ 30 ℃　ความชื้น　20 ~ 95 % RH（ไม่มีการควบแน่น） ：อุณหภูมิ　0 ~ 50 ℃　ความชื้นน้อยกว่า　98 % RH （ไม่มีการควบแน่น） ：2.68cm2 (19.36 × 13.82 ｍｍ） ：Wireless LAN 2.4GHｚ ：ห่างจากตัวเครื่องไม่เกิน 10 เมตร ：แบตเตอรี่นิกเกิลเมทัลไฮไดรด์ ：ควรสอบเทียบ 1 ครั้ง/ปี ：สัมผัสหน้าจอ Touch Screen, LCD