เครื่องวิเคราะห์อนุภาคพื้นผิว PartSens 4.0 (Intechnos)

ในห้องคลีนรูม มี "อนุภาคหยาบ (≧ 5 µm)" ที่วัดและทำการตรวจสอบได้ยาก เนื่องจากการตกหล่นของอนุภาคขนาดใหญ่และการสะสมทับซ้อนกันเกาะติดอยู่ทั่วทั้งพื้นผิวส่งผลเกิดการปนเปื้อน อีกทั้งอนุภาคที่ตกค้างอยู่จะกระจายตัวอีกครั้งเมื่อมีการสัมผัสหรือเคลื่อนไหวจากมนุษย์และระบบการผลิต ทำให้เกิดการปนเปื้อนต่อไปอย่างไม่มีที่สิ้นสุด ดังนั้นจำเป็นต้องกำจัดอนุภาคด้วยเครื่องทำความสะอาดที่เหมาะสม

□ ตัวเครื่อง
หลักการวัด：Glansing light irradiation type การฉายรังสี (อ้างอิง ISO14644-9)
ประเภทการวัด：ขนาด ปริมาณ และการจำแนกประเภทของอนุภาค (อนุภาคสะท้อนแสง อนุภาคไม่สะท้อนแสง เส้นใย)
ขนาดการตรวจจับ (ตรวจพบโดยเส้นผ่านศูนย์กลางที่ยาวที่สุด)：
อนุภาคไม่สะท้อนแสง 2 µm ~ > 3000 µm　
อนุภาคสะท้อนแสง 25 µm ~ > 3000 µm
เส้นใย 50 µm ~ > 3000 µm
แสดงการกระจายขนาดอนุภาค：อ้างอิง VDA19 และ ISO16232
รูปแบบการวัด：Distributive, Distributive/1000 cm², Cumulative, Cumulative/1000 cm²
เวลาในการวัด：น้อยกว่า 10 วินาที
จำนวนพิกเซลต่อภาพ：3872 × 2764 pixel
จำนวนข้อมูลที่บันทึกไว้：300 ไฟล์
หน้าจอ：หน้าจอสัมผัส 12.1" TFT (รองรับการแตะด้วยถุงมือคลีนรูม)
Data output：TCP/IP, USB Type A（Data CSV）, HDMI
Power supply：
Adapter　AC Input 100-240 V AC-1, 4 A 50/60 Hz | DC Output 24 DC @ 5A
LIB　Rated voltage 11.1V, 7800mAh × 2 ก้อน
น้ำหนัก：มีแบตเตอรี่ 7.7 kg, ไม่มีแบตเตอรี่ 6.7 kg
สภาพแวดล้อมการใช้งานที่แนะนำ：อุณหภูมิ　5 ~ 30 ℃　ความชื้น　20 ~ 95 % RH（ไม่มีการควบแน่น）
สภาพแวดล้อมการจัดเก็บที่แนะนำ：อุณหภูมิ　0 ~ 50 ℃　ความชื้นน้อยกว่า　98 % RH （ไม่มีการควบแน่น）

□ โพรบวัด
พื้นที่ตรวจจับ：2.68cm2 (19.36 × 13.82 ｍｍ）
วิธีการถ่ายโอนข้อมูลการวัด：Wireless LAN 2.4GHｚ
ขอบเขตการใช้งาน：ห่างจากตัวเครื่องไม่เกิน 10 เมตร
Power supply：แบตเตอรี่นิกเกิลเมทัลไฮไดรด์
การสอบเทียบ：ควรสอบเทียบ 1 ครั้ง/ปี
หน้าจอ：สัมผัสหน้าจอ Touch Screen, LCD