NANO INDENTATION TESTER ENT-5
1. เครื่องทดสอบการเยื้องระดับนาโนเพียงเครื่องเดียวที่มีกลไกควบคุมอุณหภูมิ
※ ควบคุมการขยายตัวทางความร้อนของตัวอย่างและเครื่องทดสอบ และปรับปรุงความสามารถในการทำซ้ำของข้อมูล
2. ใช้เทคนิค Stage ที่มีความแม่นยำสูงด้วยเครื่องมือวาดภาพอิเล็กตรอนที่บริษัท Elicon ได้พัฒนา
※ สามารถทดสอบความแข็งของตำแหน่งที่ต้องการทดสอบโดยเล็งไปที่ขั้นละ 0.1 µm
3. กลไกป้องกันการสั่นสะเทือน
※ เพิ่มประสิทธิภาพในการทำซ้ำสูง ด้วยการติดตั้ง Stage รูปทรงลิ่ม และโต๊ะป้องกันการสั่นสะเทือนแบบ Active แม้จะมีแรงสั่นสะเทือนที่รุนแรงก็สามารถได้ข้อมูลที่แม่นยำได้
■ Load system
【High load unit】
Load range :0.005mN(5μN)~2,000mN(2N)
Resolution :5nN
【Low load unit】
Load range :0.005mN(0.5μN) ~10mN
Resolution :0.03nN
・ Measurement range :±50μm
Resolution :0.3pm
Measurement method: Optical displacement sensor
・ Indentor
Berkovich indenter: α=65.03°(Anti-ridge angle115°)
・External dimensions / Installation conditions
Testing machine body:650㎜(W)×650㎜(D)×1200㎜(H)
Power Supply:1Phase 100V/10A
Floor vibration:below 0.5gal p-p(Less low-frequency vibration)
・Options (Holder)
Heating holder:High load unit(Maximum heating temperature 250 ℃)
Low load unit(Maximum heating temperature 180℃)
Cooling holder: Temperature control range(-30℃~100℃)
Resin embedding holder: Resin-embedded sample holder for cross-section observation
Custom holder: ออกแบบ Design และผลิต Holder ให้เหมาะสมกับแต่ละชิ้นงาน
・Option (Measurement)
การทดสอบโปรไฟล์พื้นผิว:ฟังก์ชันที่ช่วยเล็งพื้นที่เป้าหมายและใช้หัวกดวัดรูปร่างตรงพื้นที่เป้าหมายได้ใช้ได้ดีกับชิ้นงานที่มีความขรุขระขนาดใหญ่
การทดสอบความหนืด:สามารถวัดโมดูลัสการจัดเก็บ (E)' โมดูลัสการสูญเสีย (E'') และปัจจัยการสูญเสีย (tanσ) โดยการสร้างโหลดที่ความถี่ใดก็ได้ในขณะที่กดหัวกดเข้าไปในตัวอย่างภายใต้โหลดคงที่ นอกจากนี้ เมื่อใช้ขั้นตอนการให้ความร้อนร่วมกัน จะสามารถประเมินอุณหภูมิการเปลี่ยนสถานะคล้ายแก้ว (Tg) ได้
การวัดอุณหภูมิแบบอ่อนตัว:สามารถวัดอุณหภูมิในการอ่อนตัวได้โดยการเพิ่มอุณหภูมิด้วยตัวจับความร้อนในขณะที่ให้หัวกดสัมผัสกับตัวอย่างภายใต้ภาระคงที่
การทดสอบใต้น้ำ:สามารถทดสอบความแข็งของตัวอย่างที่แช่ในน้ำได้
การทดสอบความแข็งแรงของอนุภาค: วิธีการบีบอัดหรือบดอนุภาคขนาดเล็กโดยใช้หัวกดแบบแบนเพื่อวัดความแข็งแรง
การทดสอบความต้านทาน::สามารถวัดความต้านทานไฟฟ้าของอนุภาคนำไฟฟ้าขณะบีบอัดได้ด้วยฟังก์ชั่นเสริมสำหรับการทดสอบความแข็งของอนุภาค