ในบทความนี้เป็นการสาธิตการตรวจสอบภาพที่ใช้เทคนิค PMS (Photometric Stereo) เพื่อสร้างรูปร่าง 3 มิติพื้นผิวของแพ็กเกจ IC และตรวจจับรอยบุบ
PMS ประเมินรูปร่างและพื้นผิวโดยใช้ภาพหลายภาพที่ถ่ายภายใต้ทิศทางแสงต่าง ๆ จากตำแหน่งกล้องคงที่ โดยมีประสิทธิภาพในการตรวจจับความไม่เรียบเล็ก ๆ บนพื้นผิว เช่น รอยบุบและรอยขีดข่วน ผ่านการวิเคราะห์การเปลี่ยนแปลงความสว่างที่เกิดจากมุมแสงที่แตกต่างกัน
การตรวจสอบ PMS ทำให้สามารถมองเห็นความผิดปกติเล็ก ๆ ที่ยากต่อการตรวจจับด้วยการใช้ระบบออปติกทั่วไปได้
กล้องสามเซ็นเซอร์มีเซ็นเซอร์สามตัวติดตั้งอยู่ภายในและสามารถจับภาพโดยแสดงผลเป็นสีแดง เขียว และน้ำเงิน พร้อมกันได้ ด้วยการถ่ายภาพเพียงครั้งเดียว ซึ่งโดยปกติจะใช้ภาพสี แต่ในการสาธิตครั้งนี้ กล้องนี้ใช้เพื่อจับภาพสามภาพพร้อม ๆ กันโดยมีเฟสต่างกัน
สำหรับการตรวจสอบ PMS จำเป็นต้องจับภาพหลายครั้ง (สามครั้งในกรณีนี้) โดยใช้แสงจากมุมที่ต่างกัน ดังนั้น กล้องจึงต้องอยู่กับที่เมื่อถ่ายภาพการรวมกล้องสามเซ็นเซอร์เข้ากับเทคโนโลยี PMS ทำให้การตรวจสอบวัตถุที่เคลื่อนไหวด้วย PMS เป็นไปได้โดยการปล่อยแสงสีแดง น้ำเงิน และเขียวพร้อมกันในตำแหน่งที่แตกต่างกันและถ่ายภาพสามภาพพร้อมกันโดยมีเฟสต่างกันในเวลาเดียวกัน