ในบทความนี้เป็นการสาธิตการตรวจสอบภาพที่ใช้เทคนิค PMS (Photometric Stereo) เพื่อสร้างรูปร่าง 3 มิติพื้นผิวของแพ็กเกจ IC และตรวจจับรอยบุบ

▲โครงสร้างระบบ

PMS ประเมินรูปร่างและพื้นผิวโดยใช้ภาพหลายภาพที่ถ่ายภายใต้ทิศทางแสงต่าง ๆ จากตำแหน่งกล้องคงที่ โดยมีประสิทธิภาพในการตรวจจับความไม่เรียบเล็ก ๆ บนพื้นผิว เช่น รอยบุบและรอยขีดข่วน ผ่านการวิเคราะห์การเปลี่ยนแปลงความสว่างที่เกิดจากมุมแสงที่แตกต่างกัน

การตรวจสอบ PMS ทำให้สามารถมองเห็นความผิดปกติเล็ก ๆ ที่ยากต่อการตรวจจับด้วยการใช้ระบบออปติกทั่วไปได้