Thiết bị đo hình dạng bề mặt ︱Nhờ kết hợp công nghệ gia công chính xác và truyền động tuyến tính, thiết bị đạt được khả năng đo độ phẳng ổn định trên phạm vi rộng.

Nhờ kết hợp công nghệ gia công chính xác của Kuroda và động cơ servo tuyến tính, thiết bị đạt độ phẳng đo được thuộc hàng cao nhất thế giới. Hỗ trợ đa dạng phôi gia công và cho phép thay thế đầu đo tùy theo hạng mục đánh giá. Phần mềm do Kuroda tự phát triển đáp ứng nhiều chế độ phân tích và hiển thị, cùng thiết kế bảo đảm đồng thời an toàn và thao tác, mang lại môi trường đo ổn định.

【Danh mục sản phẩm chính và những đặc điểm nổi bật】
Thiết bị đo độ phẳng chính xác 「SF-640M」

・Nhờ sử dụng bàn trượt không khí (air slider) do Kuroda chế tạo cho trục XY kết hợp truyền động servo tuyến tính, thiết bị có thể đo trên phạm vi rộng với độ chính xác cao và tốc độ nhanh.
・Có thể lựa chọn đầu đo tối ưu tùy theo hạng mục cần đánh giá và đối tượng đo.
・Có thể tùy chỉnh linh hoạt các thông số như bước đo (pitch) và tốc độ, đồng thời hiển thị và phân tích kết quả theo nhu cầu.
・Cả phần cứng lẫn phần mềm đều do Kuroda tự phát triển, nhờ đó có thể linh hoạt tùy biến thông số và chức năng theo yêu cầu.

Thiết bị đo hình dạng bề mặt dành cho đĩa “Nanometro® FR Series”

・Được trang bị bàn xoay khí nén và truyền động servo tuyến tính sử dụng bàn trượt không khí do Kuroda gia công chính xác trên trục X, thiết bị có thể đo hình dạng bề mặt của đĩa đường kính tới φ1000 mm với tốc độ cao và độ chính xác vượt trội.
・Hỗ trợ đo đồng tâm và đo theo hướng bán kính (radial).
・Nhờ phần mềm do Kuroda tự phát triển, người dùng có thể thiết lập bước đo tùy ý, giúp thực hiện phép đo linh hoạt và tối ưu cho mọi kích thước phôi.

【Thông số kỹ thuật chính】

	SF-640M	Nanometro 700FR	Nanometro 1000FR
Phạm vi đo (X × Y)	650mm × 450mm	φ700mm(max.)	φ1000mm(max.)
Độ chính xác đo tổng hợp	0.6μm (※1)	0.4μm	0.6μm
Độ chính xác lặp lại	0.1μm (※2)	0.05μm(σ)
Độ phân giải hiển thị	0.01μm	0.01μm
Đầu đo	Cảm biến dịch chuyển laser không tiếp xúc, micromet điện tử	Micromet điện tử
Khoảng cách dữ liệu tối thiểu	1μm	―
Tốc độ đo	0.5 ～ 50mm/sec	35 mm/s ※ tốc độ đo tối đa (trục X)
Trục / dẫn hướng	Dẫn hướng khí bằng	Trục X: dẫn hướng khí bằng ceramic Trục θ: ổ trục khí (air bearing)
Phương thức truyền động	Trục X: động cơ tuyến tính Trục Y: động cơ servo	Trục X: động cơ tuyến tính Trục θ: động cơ servo
Khối lượng phôi tối đa	40kg	60kg	80kg
Kích thước ngoại quan (kích thước tổng thể)	W1820mm × D1200mm × H1550mm	―
Khối lượng thân máy	1000kg	―
Nguồn điện yêu cầu	AC200V (50/60Hz)　15A	―
Khí nén yêu cầu	Khí nén sạch, khô (CDA 　0.5MPa	―
Lưu lượng khí	100L/min (ANR)	―
Chiều cao phôi tối đa	50mm	―
Chiều cao phôi tối đa	Nhiệt độ phòng：20℃ ～ 25℃ (Biến động nhiệt độ không quá 1 °C). Độ bền sàn: khả năng chịu tải tối thiểu 9,800 N/m²	―

※1 Giá trị PV (đỉnh-đáy) toàn bề mặt khi đo bằng đĩa chuẩn quang học.
※2 Độ lệch chuẩn σ của giá trị PV toàn bề mặt khi thực hiện 10 lần đo lặp bằng đĩa chuẩn quang học.

Contact Us

Thiết bị đo hình dạng bề mặt