Thiết bị đo 3D không tiếp xúc Mitaka Kohki|Có thể đo hình dạng bề mặt mà không cần thay mẫu từ diện tích nhỏ đến diện tích rộng. Đo mẫu với góc dốc và hệ số phản xạ độc lập với độ phân giải cao 1 nm