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プリント基板や電子部品などの微細部品の品質管理では、高精度かつ効率的な測定が不可欠です。ニコンの画像測定機「NEXIV（ネクシブ）」シリーズは、カメラメーカーとして培った光学技術により、微細パターンから大型基板までを1台で高精度に自動測定します。
本記事では、その特長やラインナップを日系販売代理店である菱光社ベトナムの取り組みとともにご紹介します。
NEXIVは高精度に加工された大量のサンプルを高精度に短時間で測定を行うことが可能な測定機です。
以下の点で評価されています。
• 高性能光学レンズによる高倍率観察
• 高さ方向（Z軸）も含めた自動測定
• 大型ワークにも対応可能なラインナップ
• 初心者でも扱いやすいソフトウェア
これにより、多品種・少量生産の現場でも安定した測定品質を実現します。
NEXIVの最大の特長は、ニコン独自の高NA光学ズームヘッドです。
NA（開口数）はレンズ性能を示す指標で、数値が高いほど解像力が向上します。NEXIVは高NAレンズを採用し、微細パターンのエッジまで鮮明に捉える高精度観察を実現。
さらに、1本のレンズで最大15倍の光学ズームに対応し、
•低倍率：基板全体の俯瞰
•高倍率：微細回路の詳細測定
をシームレスに切り替えることが可能です。
| Type1 | Type2 | Type3 | Type4 | TypeTZ | TypeA | |
| Objective lens / Object side NA / WD | 0.3 50 mm | 0.3 50 mm | 0.3 50 mm | 0.465 30 mm | 0.6 11 mm | 0.11 70 mm |
| Zoom method | Electric 5-position zoom | Electric 4-position zoom & Optical path switching | Electric 5-position zoom | |||
| Zoom mag. Ratio | 15x | 10x | ||||
| Mag. Range | 0.5–7.5x | 1–15x | 2–30x | 4–60x | 1–7.5x / 16–120x | 0.35–3.5x |
| Zoom position | 0.5/1/2/4/7.5x | 1/2/4/8/15x | 2/4/8/16/30x | 4/8/16/32/60x | 1/2/4/7.5x / 15/32/64/120x | 0.35/0.6/1/1.8/3.5x |
| FOV on object (1/3 CCD) Minimum Mag. | 9.33×7 | 4.67×3.5 | 2.34×1.75 | 1.17×0.88 | 4.67×3.5 | 13.34×10 |
| FOV on object (1/3 CCD) Maximum Mag. | 0.62×0.47 | 0.31×0.23 | 0.16×0.12 | 0.08×0.06 | 0.04×0.03 | 1.33×1 |
NEXIVは、画像AFに加えてTTLレーザーオートフォーカスを標準搭載しています。
これにより、
• 高さ方向の高速測定と形状評価
• 透明体や反射物の測定対応
• フォーカスエラーの低減
を実現。
特にPCBやFPCのような複雑形状の測定において、測定停止リスクを大幅に低減します。
少量多品種の部品測定ではフォーカスエラーが作業停止の原因になることがあります。レーザーAFを併用することで、測定の安定性が向上します。 最新ソフトウェアでは操作性が大幅に向上しています。 【主な新機能】 ・オートフォーカスリトライ機能：フォーカスエラー時に自動再試行 ・測定順序自動最適化機能：測定順序を自動最適化し測定時間を短縮
▲TTLレーザーAFのしくみ
▲難しいサンプルでも測定可能
▲サンプルの位置やバラツキを補正し、測定エラーを防ぐ
ソフトウェア進化で“誰でも使える測定機”へ
・測定コード提案機能： 次に実行すべき測定コマンドをソフトが提案 
豊富な機能と直感的な操作で、さまざまなサンプルの寸法測定を高速・高精度に実現。最新バージョンでは誰でも簡単に測定でき、効率化と省人化に貢献します。
近年、ベトナムでは大型部品の測定ニーズが拡大しています。大型部品を測定できる装置は競合製品では限られており、幅広いラインナップを持つ点が大きな強みとなっています。1ミクロン台の測定精度と高性能光学系により、高い測定信頼性を実現しています。
| シリーズ | 分類 | 機能 |
| VMZ-Sシリーズ | 標準モデル 大型モデル | ・6種類の高NA光学ズームヘッド ・多彩な照明方法 ・サーチ機能 |
| VMAシリーズ | 廉価モデル | ・光学10倍ズームヘッド ・タッチプローブ測定（オプション） |
| VMF-Kシリーズ | 高速・高さ測定特化 | ・従来機比1.5倍のスループット向上 ・高倍率45倍モデルによる微細化対応 |
| VMZ-H3030 | 最高精度モデル | ・測定精度1ミクロン以下 ・5種類の高NA光学ズームヘッド |
| VMZ-NWL200 | 自動ウェハ測定システム | ・高精度エッジ検出 ・測定用顕微鏡比 約5倍の測定生産性 |
専用光学系とTTLレーザーAFを搭載。3モデルのラインナップで多様なサンプル測定に対応
3種類のステージサイズで広視野測定に対応。タッチプローブにも対応
明視野とコンフォーカルの2光学系で高精度な二次元・高さ測定に対応
半導体部品や精密金型など、厳格な品質管理が求められる測定用途に対応
NEXIVとウェハ搬送機の統合により、高信頼・高効率な測定と歩留まり向上に貢献
ベトナムでは、プリント基板（PCB）や電子部品工場の増加により高精度測定装置の需要が拡大。大型基板と微細回路パターンの測定ニーズにより、標準機のVMZ-Sシリーズ（大型モデル）と廉価モデルのVMAシリーズが主力機種となっています。
ベトナム国内向け販売を担当する菱光社ベトナムは、ニコン製品を取り扱う日系正規販売代理店として長年の実績を有しています。
主な強み
• ベトナム国内で豊富な販売実績
• ニコン製品に対応するエンジニアが常駐
• 校正資格を持つ技術者が在籍
• 導入時の据付～操作講習～校正点検まで一貫対応
また、エンジニアはホーチミンとハノイの両拠点に配置されており、導入後のサポート体制も整っています。