非接触三次元形状測定装置 三鷹光器

光学顕微鏡ベースで独自のAFセンサにて追従型のオートフォーカスを採用し、ステージ移動分の微小領域～広範囲まで高精度に測定可能。非球面レンズ、導光板、金型などの形状測定や検査に最適です。

■ラインアップ
NHシリーズ
NH-3SPs／PF-60

■主な特長
・急斜面の断面形状測定を実現
・AF光学系とハイブリッドAFテクノロジにより、ゴーストや迷光に強い
・高精度と高剛性を兼ね備えたXYステージが高精度な走り平行度を実現
・光学顕微鏡ベースの為測定部分の観察が可能

■測定例
・指紋
・ダイヤモンド砥粒
・BGA
・ウェハのそり、うねり形状
・斜入射X線ミラー
・研削面のビビリ模様
・ブレーキパッドの摩耗量測定
・ノズル測定　など

■主な仕様
・Z分解能：PF-60（10nm）、NH-3SPs（1nm）
・測定範囲：PF-60（60×60mm）、NH-3SPs（150×150mm）
・レンズに特価した評価ソフト（オプション）
・エレベーションステージ（オプション）
・高精度温度制御恒温槽内で温度変化による変形を高精度測定（オプション）