電子顕微鏡
SEM(日本電子)
優れたゼロマグ機能を搭載。シンプルな操作で使いやすい走査電子顕微鏡。
視野探しや分析位置の指定ができるZeromag、観察中の視野のスペクトルと主元素の確認が可能なLie Anaylysis、データの一元管理など、上位機種の機能を引き継ぎながらも、操作性とコストパフォーマンスを重視。観察後にすぐにレポートが作成できる画期的な電子顕微鏡です。
■JSM-IT200シリーズ
・分析能:(高真空モード)30nm(30kV)、8.0nm(3kV)、150nm(1.0kV)
(低真空モード)40nm(30kV BED)
・写真倍率:×5~30万(128mmx269mmを表示サイズとして倍率を規定)
・表示倍率:×14~839.724 モニター上の画像倍率(358mmx269mmを表イサイズとして倍率を規定)
・自動機能:フィラメント調整、ガンアライメント調整、フォーカス/非点/明るさ/コントラスト調整
・最大試料寸法:150mm(径)×48mm(高)
・画像モード:二次電子像、REF像、組成像・凹凸像・立体像(LV/LAタイプのみ)
・観察モニター:24型タッチパネル
・主なオプション:反射電子検出器、低真空二次電子検査器、エネルギー分散型X線分析装置、モーター駆動ステージ、ステージナビゲーションシステム、チャンバースコープ、オペレーションパネル、3D計測ソフト、操作テーブル